File:Schema Magnetonsputtern.svg
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Summary
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| Description |
Deutsch: Schematischer Aufbau des Magnetonsputterns: Im ersten Schritt werden die Argonatome durch das Plasma ionisiert und auf das Target beschleunigt. Dadurch werden Targetionen herausgeschlagen, die aufgrund ihrer Ladung zum Substrat fliegen und sich dort anlagern. |
| Date | 2.12.2008 |
| Source | selbst gezeichnet auf der Basis de:File:Schema_einer_Sputterkammer.svg |
| Author | Sandro Knauß; Ursprungsbild: Cepheiden |
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Original upload log
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- 2009-08-08 12:53 Cepheiden 448×305× (56154 bytes) Minimale Anpassungen
- 2008-12-03 12:02 Saendie 448×305× (56278 bytes) {{Information |Beschreibung = Schematischer Aufbau des Magnetonsputterns: Im ersten Schritt werden die Argonatome durch das Plasma ionisiert und auf das Target beschleunigt. Dadurch werden Targetionen herausgeschlagen, die aufgrund ihrer Ladung zum Substr
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|---|---|---|---|---|---|
| current | 06:16, 29 April 2010 | | 448 × 305 (55 KB) | Cepheiden (talk | contribs) | {{Information |Description={{de|Schematischer Aufbau des Magnetonsputterns: Im ersten Schritt werden die Argonatome durch das Plasma ionisiert und auf das Target beschleunigt. Dadurch werden Targetionen herausgeschlagen, die aufgrund ihrer Ladung zum Subs |
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